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【1145】 技术领先优势

  在车里,罗本开始仔细观察光刻技术的相关介绍。毕竟,他只知道获得了某种光刻技术的生产技术,但这种技术达到了什么程度,他完全不清楚。

  看过之后,罗本越看越惊喜,在他的眼中充满了笑意。这种光刻技术是ArF光刻(193纳米),并且能够满足45纳米以下的IC制造工艺需求。

  ArF光刻有两种,即193纳米波长的曝光光,分别是干法ArF光刻和浸没式ArF光刻。干法ArF光刻只能满足65-130纳米的IC制造工艺需求,而浸没式ArF光刻则可以满足45纳米以下的技术要求。目前,罗本获得的是能够满足45纳米以下IC制造工艺的193纳米ArF浸没式光刻技术。

  在二十多年的光刻产业中,193纳米ArF浸没式光刻------------为防止盗用内容,小说分三个站点存放,请前往分站继续观看,分站链接在首页最下方----------上架代表有后续内容,但暂时不更新,如需继续更新请评论留言-------

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